设备简介：
· 抽空系统包含真空泵、真空探测仪、真空管道等。
· 真空泵采用双极旋片真空泵(60m^3/h),双极泵,抽速快,寿命长,维护简单。
· 真空探测仪采用日本爱发科真空计,使用寿命长，探测精准。
· 抽真空系统。
· 等离子发生系统。
· 工艺气体控制系统。
· 全自动控制系统。
